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氮化硅合成方法：对单质硅的粉末进行渗氮处理的合成方法是在二十世纪50年代随着对氮化硅的重新“发现”而开发出来的。也是一种用于大量生产氮化硅粉末的方法。但如果使用的硅原料纯度低会使得生产出的氮化硅含有杂质硅酸盐和铁。用二胺分解法合成的氮化硅是无定形态的，氮化硅，需要进一步在1400-1500℃的氮气下做退火处理才能将之转化为晶态粉末，二胺分解法在重要性方面是仅次于渗氮法的商品化生产氮化硅的方法。

氮化硅材料性能：氮化硅陶瓷具有高强度、耐高温的特点，在陶瓷材料中其综合力学性能好，耐热震性能、抗氧化性能、耐磨损性能、耐蚀性能好，氮化硅耐火材料，是热机部件用陶瓷的候选材料。在机械工业，氮化硅加工，氮化硅陶瓷用作轴承滚珠、滚柱、滚球座圈、工模具、新型刀具、泵柱塞、心轴 密封材料等。

氮化硅合成方法：氮化硅的晶胞参数与单质硅不同。因此根据沉积方法的不同，生成的氮化硅薄膜会有产生张力或应力。特别是当使用等离子体增强化学气相沉积技术时，能通过调节沉积参数来减少张力。